半導体製造装置
ポリシリコンエッチャー
２０２０年４月２４日更新
東京エレクトロン(株) エッチング
日本
サムコ(株) ドライエッチング装置
芝浦メカトロニクス(株) ケミカルドライエッチング装置
東京エレクトロン宮城(株) エッチング
東京エレクトロン(株)
パナソニック スマートファクトリーソリューションズ(株) ドライエッチング装置
(株)プレストNew プラズマ処理装置
海外
Jusung Engineering Co.,Ltd. Dry Etch
Lam Research Corp. エッチング
ラムリサーチ(株)
SPTS Technologies Ltd. Plasma Etch

　　　　
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2000年11月13日制定