半導体製造装置
各種材料エッチャー
2020年6月1日更新
日本
(株)VICインターナショナル
ICP-RIE装置
(株)アルバック
エッチング装置
サムコ(株)
ドライエッチング装置
(株)シー・ヴィ・リサーチ
半導体製造装置
芝浦メカトロニクス(株)
イオンエッチング装置
住友精密工業(株)
半導体製造装置
SPPテクノロジーズ(株)
その他材料エッチング
SPTS Technologies Ltd.
Plasma Etch
パナソニック スマートファクトリーソリューションズ(株)
ドライエッチング装置
(株)プレスト
プラズマ処理装置
(株)メイコー
エッチング装置
ヤマト科学(株)
プラズマ装置
ヤマトマテリアル(株)
プラズマ
海外
Axic, Inc
Plasma Etch
Mattson Technology, Inc.
Plasma Etch
Plasma Etch, Inc.
New
Plasma Systems
Veeco Instruments Inc.
Surface Processin
日本ビーコ(株)
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2000年11月13日制定