半導体製造装置
ＣＭＰ後洗浄装置
２０２０年５月１４日更新
日本
(株)MTK 枚様式洗浄装置
(株)エム・エー・ティ 洗浄装置
(株)カナメックスNew 洗浄装置
(株)ソフ．エンジニアリング 洗浄
大日本スクリーン製造（株） CMP後洗浄装置／AS-2000
(株)テックインテック CMP後洗浄装置／AS-2000
アメリカ合衆国
Veeco Instruments Inc. 枚葉式半導体洗浄装置
日本技術産業(株)

　　　　
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2000年11月13日制定