SEMILINKS 200mm半導体製造装置 ２０２０年４月１５日更新

中古装置でなく新規200mm装置（200mm以下)を掲載する

工程 メーカー 装置名 ウエハ タイプ・仕様 備考 前工程           コータデべ (株)SCREEN コータ・デベロッパー 6-8” SK-60EX/80EX 　 コータデべ (株)SCREEN スプレーコータ 4-8” SC-80EX   コータ (株)ワイ・エムテクノロジー 手動スピンコータ 2”   新規製作装置 コータデベ リソテックジャパン(株) コータ・デベロッパ 2-8” LITHOTRACシリーズ   コータ リソテックジャパン(株) マニュアル塗布装置 2-8” Litho Spin Cup 800C   デベロッパ リソテックジャパン(株) マニュアル現像装置 2-8” Litho Spin Cup 800D   露光 (株)ニコンエンジニアリング MEMSステッパー 6-8” NES1-h04 価格9500万円- 露光 キヤノン(株) 半導体露光装置 4-8” FPA-3030EX6 KrFステッパー 露光 キヤノン(株) 半導体露光装置 4-8” FPA-3030i5+ i線ステッパー 露光 キヤノン(株) 半導体露光装置 4-8” FPA-3030iWa 低NAi線ステッパー 露光 ウシオ電機(株) 露光装置 4-8” UX-1シリーズ マスクアライナー 露光 ウシオ電機(株) 露光装置 4-8” UX-3シリーズ プロキシミティ 露光 ウシオ電機(株) 露光装置 4-8” UX-4シリーズ 投影露光装置 UVキュア ウシオ電機(株) 硬化装置 6-8” H208シリーズ   ドライエッチ Plasma-Therm LLC プラズマエッチング装置  3-8” VERSALINE   キヤノン(株) ドライエッチ キヤノン(株) アッシング・エッチング装置 4-8” MAS-8220AT   ドライエッチ サムコ(株) ICPエッチング装置 6-8”     ドライエッチ サムコ(株) シリコン深堀り装置 4-8”     ドライエッチ サムコ(株) RIE装置 4-8”     ドライエッチ 芝浦メカトロニクス(株) ドライエッチング装置  3-8” ケミカルドライエッチ   ドライエッチ パナソニック スマートファクトリー ソリューションズ(株) ドライエッチング装置 2-6” APX300   ドライエッチ パナソニック スマートファクトリー ソリューションズ(株) ドライエッチング装置 4-8” APX300(Sオプション)   ドライエッチ (株)日立ハイテク エッチング装置 6-8” M-600/6000 コンダクターエッチング ドライエッチ (株)日立ハイテク エッチング装置 6-8” E-6000シリーズ 磁気ヘッド用材料エッチング 洗浄 東京エレクトロン(株) スプレー洗浄装置 6-8” ZETA Semi-auto   洗浄 (株)SCREEN ウェットステーション 6-8” WS-620C/WS-820L   洗浄 (株)SCREEN ウェットステーション 8” FC-821L   洗浄 (株)SCREEN コンパクトウェットステーション 2-8” CW-2000   洗浄 (株)SCREEN コンパクトウェットステーション 2-8” CW-1500   洗浄 (株)SCREEN スピンプロセッサ 8” SU-2000   洗浄 (株)ワイ・エムテクノロジー RCA自動洗浄装置等  3-8”   新規製作装置 スクラバ (株)SCREEN スピンスクラバ 4-8” SS-80EX   ポリマ除去 (株)SCREEN ポリマ除去 8” SU-2000   エピ 東京エレクトロン(株) SiCエピタキシャル  3-6” Probus-SiC   エピ (株)ニューフレアテクノロジー SiCエピタキシャル 4-6” EPIREVO S6   熱処理 東京エレクトロン(株) 強磁場中熱処理装置 6-8” MRT200/MATｒ/MATrSM   RTP OEM Group Inc. ランプアニーリング装置 4-8” AGHeatpulse 8800   キヤノン(株) RTP (株)SCREEN 赤外線ランプアニール装置 6-8” LA-830   PECVD  Plasma-Therm LLC プラズマCVD装置  3-8” VERSALINE   キヤノン(株) めっき ClassOne Technology Inc. 電解メッキ装置 -8” Solstice   キヤノン(株) スパッタ Evatec Ltd. スパッタリング装置 2-8” Radiance   キヤノン(株) スパッタ (株)アルバック マルチチャンバ型スパッタリング装置  3-8” MLX-3000N   スパッタ (株)アルバック 裏面・実装用スパッタリング装置  5-8” SRHシリーズ   スパッタ (株)アルバック 超高真空スパッタリング装置 -8” MPSシリーズ   スパッタ (株)アルバック コンパクトスパッタ 4” ACS-4000   蒸着 Evatec Ltd. 蒸着装置 2-8” BAK   キヤノン(株) 計測 (株)ニコンエンジニアリング 両面座標測定機 -8” BSM   計測 (株)日立ハイテク FEB測長装置 4-8” CS4800 CD-SEM 検査 (株)日立ハイテク ミラー電子式検査装置  3-6” VM1000 SiC/エピ向け 検査 (株)SCREEN パターン付きウェーハ外観検査装置  3-8” ZI-2000 検査 レーザーテック(株)New ウエハ検査関連 4-8” SiCA88 SiC/GaN テスト           トリマー 東京エレクトロン(株) トリミング装置 4-8” UltraTrimmer Plus   プローバ 東京エレクトロン(株) ウェーハプローバ 6-8” Precio octo   プローバ 東京エレクトロン(株) ダイシングフレームプローバ 8” WDF8   後工程           ブレーク (株)くまさんメディクス フルオートブレーク装置 4” TEC-1018AR   ブレーク (株)くまさんメディクス フルオートブレーク装置 2-6” TEC-1228AL   ワックス (株)くまさんメディクス ウェハ―ワックス貼付装置 2-4” TEC-1006ZR   スクライブ (株)くまさんメディクス スクライブ装置 4” TEC-2005RM

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2020年3月15日制定