半導体製造装置
めっき装置
2017年7月11日更新

日本
(株)荏原製作所 銅配線めっき装置
(株)サイエンスアイ めっき装置
(株)東設 めっき装置
日本エレクトロプレイティング・エンジニヤーズ(株) めっき装置
日立協和エンジニアリング(株) めっき装置
三友セミコンエンジニアリング(株) めっき装置
エヌ・イーケムキャット(株)
海外
Applied Materials, Inc. RAIDER-S ECDNew
アプライドマテリアルジャパン(株)New
Novellus Systems, Inc. Cu Electrofill
ノベラスシステムズジャパン(株)

    
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2000年11月13日制定