ウエハ検査装置 ２０２６年２月６日更新
SEMILINKS特集号の「半導体製造装置」参照
・自動異物欠陥検査装置 　自動異物検査装置(7) 　自動パターン欠陥検査装置(12) 　自動結晶欠陥検査装置(11) 　自動マクロ検査装置(7) ・外観検査装置 　外観検査用SEM(6) 　外観検査用光学顕微鏡(3) ・欠陥・異物分析装置 　異物分析装置(6) 　有機物測定装置(3)	・寸法測定装置 　測長SEM装置(5) 　光学式寸法測定装置(8) ・重ね合せ検査装置 　重ね合せ検査装置(5) ・膜厚・屈折率測定装置 　膜厚測定装置(14) 　エリプソメータ(12) ・平面度測定装置 　平坦度測定装置(12) 　ウエハ厚測定装置(9) 　段差・表面粗さ測定装置(11)New	・イオン注入測定機 　イオン注入量測定装置(6) ・蛍光X線分析装置他 　蛍光X線分析装置(3) 　FTIR(3) ・電気特性測定装置他 　抵抗測定装置(10) 　PN判定装置(6) 　ライフタイム測定装置(7) 　ストレス測定装置(2)
ご意見・連絡　　TOPページヘ
2000年12月25日制定