装置ユニット 2023年11月21日更新 |
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SEMILINKS特集号の「装置ユニット」参照 |
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・機械系ユニット ハンドリングシステム(35)New ステージ・干渉計他(19) 除振システム(6) ・電気系ユニット 高周波電源・各種電源(18) 省配線・処理・表示他(8) ヒータユニット・モニタ(13) 各種モータ(5) 各種センサ(11) ・光学系ユニット エキシマレーザー発振機(7) 光学系ユニット(7) UV・水銀ランプ(9) |
・制御系ユニット プロセスモニター(9) マスフローコントローラ(27) 真空計・コントローラ(5) 圧力・流量コントローラ(14) 温調機・チラー(15) ・真空ポンプ ドライポンプ(30) クライオポンプ(9) オイルポンプ(18) ・その他 各種装置ユニット(20) ディスペンサ(6) ベローズポンプ類(8) 超音波振動関連(7) |
・水系ユニット オゾン水生成装置(12) ・検査組立ユニット バーンインボード(7) プローブカード(25) ICソケット(38) 金型(17) 各種検査・組立ユニット(3) ・計測器 リークディテクタ(22) T/C付ウエハ(9) 汎用専用計測器・校正(6) |
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2001年5月21日制定 |