装置ユニット／T/C付ウエハ

装置ユニット
Ｔ/Ｃ付ウエハ
２０２５年１月２８日更新

日本
安立計器(株)	熱電対付ウエーハ
川惣電機工業(株)	ウエハモニタ用熱電対
坂口電熱(株)	熱電対(T/C)付ウェハー
千代田交易(株)	サーモカップルウェーハ
日本ケミコン(株)	熱電対取付加工
日本フェンオール(株)	熱電対付ウエーハ
(株)ミヤビインターナショナル	TCウェハ
海外
Premtek International Inc.New	熱電対(TC)付ウェハー
(株)インターテック販売New	熱電対(TC)付ウェハー
KLA Tencor	Process Probe
ケーエルエー・テンコール(株)	Process Probe

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2001年5月21日制定